簡(jiǎn)介
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是同惠電子針對(duì)半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)與研發(fā)的分析儀器。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀創(chuàng)新性地采用了雙CPU架構(gòu)、Linux底層系統(tǒng)、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內(nèi)置使用說明及幫助等新一代技術(shù),適用于生產(chǎn)線快速分選、自動(dòng)
化集成測(cè)試及滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)及分析。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀測(cè)試頻率為10kHz-2MHz, VGS電壓可達(dá)±40V,足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體件CV特性測(cè)試分析。
得益于10.1英寸、分辨率達(dá)1280*800的電容式觸摸屏,TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀可將四個(gè)參數(shù)同屏顯示、所有設(shè)置、監(jiān)視、分選參數(shù)、狀態(tài)等可以在同一屏顯示,避免了頻繁的切換的操作。
功能特點(diǎn)
A.單點(diǎn)測(cè)試,10.1英寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺
10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率,Linux系統(tǒng)、中英文操作界面,支持鍵盤、鼠標(biāo)、LAN接口,帶來了無以倫比的操作便捷性。
MOSFET最重要的四個(gè)寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個(gè)界面直接顯示測(cè)量結(jié)果,并將四個(gè)參數(shù)測(cè)試等效電路圖同時(shí)顯示,一目了然。
多至6個(gè)通道測(cè)量參數(shù)可快速調(diào)用,分選結(jié)果在同一界面直接顯示。
B.列表測(cè)試,靈活組合
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)通道、4個(gè)測(cè)量參數(shù)的測(cè)試及分析,列表掃描模式支持不同通道、不同參數(shù)、不同測(cè)量條件任意組合,并可設(shè)置極限范圍,并顯示測(cè)量結(jié)果 。
C.曲線掃描功能(選件)
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以對(duì)數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描,可同時(shí)顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。
D.簡(jiǎn)單快捷設(shè)置
E.10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選,為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級(jí)提供了可能,分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口。
在與自動(dòng)化設(shè)備連接時(shí),怎么配置HANDLER接口輸出,一直是自動(dòng)化客戶的難題,TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對(duì)應(yīng)信號(hào)、應(yīng)答方式等完全可視化,讓自動(dòng)化連接更簡(jiǎn)單。
F.支持定制化,智能固件升級(jí)方式
同惠儀器對(duì)于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計(jì),客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級(jí)方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級(jí)等,都可以通過升級(jí)固件(Firmware)來進(jìn)行更新,而無需返廠進(jìn)行。
固件升級(jí)非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級(jí)包,并自動(dòng)進(jìn)行升級(jí)
G.半導(dǎo)體元件寄生電容知識(shí)
在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會(huì)影響半導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)特性,所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因數(shù)
在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會(huì)影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力和開關(guān)損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例。
H.標(biāo)配附件
應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析
■ 半導(dǎo)體材料
晶圓、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | TH511 | TH512 | TH513 | ||
通道數(shù) | 2(可選配4/6通道) | 2 | |||
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏 | |||
比例 | 16:9 | ||||
分辨率 | 1280×RGB×800 | ||||
測(cè)量參數(shù) | CISS、COSS、CRSS、Rg,四參數(shù)任意選擇 | ||||
測(cè)試頻率 | 范圍 | 10kHz-2MHz | |||
精度 | 0.01% | ||||
分辨率 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||
1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||
測(cè)試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | |||
準(zhǔn)確度 | ±(10%×設(shè)定值+2mV) | ||||
分辨率 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||
10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||
VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | |||
準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+8mV | ||||
分辨率 | 1mV 0V - ±10V | ||||
10mV ±10V -±40V | |||||
VDS電壓 | 范圍 | 0 - 200V | 0 - 1500V | 0 - 3000V | |
準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+100mV | ||||
輸出阻抗 | 100Ω,±2%@1kHz | ||||
數(shù)學(xué)運(yùn)算 | 與標(biāo)稱值的絕對(duì)偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ% | ||||
校準(zhǔn)功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD | ||||
測(cè)量平均 | 1-255次 | ||||
AD轉(zhuǎn)換時(shí)間(ms/次) | 快速+:0.56ms(>5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms | ||||
最高準(zhǔn)確度 | 0.1%(具體參考說明書) | ||||
CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | ||||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | ||||
Δ% | ±(0.000% - 999.9%) | ||||
多功能參數(shù)列表掃描 | 點(diǎn)數(shù) | 20點(diǎn),每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù),每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選 | |||
參數(shù) | 測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道 | ||||
觸發(fā)模式 | 順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點(diǎn)測(cè)量,/EOM/INDEX只輸出一次 | ||||
步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量,每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出 |
圖形掃描 | 掃描點(diǎn)數(shù) | 任意點(diǎn)可選,最多1001點(diǎn) | |
結(jié)果顯示 | 同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 | ||
顯示范圍 | 實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定 | ||
坐標(biāo)標(biāo)尺 | 對(duì)數(shù)、線性 | ||
掃描參數(shù) | Vg、Vd | ||
觸發(fā)方式 | 單次 | 手動(dòng)觸發(fā)一次,從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成,下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描 | |
連續(xù) | 從起點(diǎn)到終點(diǎn)無限次循環(huán)掃描 | ||
結(jié)果保存 | 圖形、文件 | ||
比較器 | Bin分檔 | 10Bin、PASS、FAIL | |
Bin偏差設(shè)置 | 偏差值、百分偏差值、關(guān) | ||
Bin模式 | 容差 | ||
Bin計(jì)數(shù) | 0-99999 | ||
檔判別 | 每檔最多可設(shè)置四個(gè)參數(shù)極限范圍,四個(gè)測(cè)試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對(duì)應(yīng)檔號(hào),超出設(shè)定最大檔號(hào)范圍則顯示FAIL,未設(shè)置上下限的測(cè)試參數(shù)自動(dòng)忽略檔判別 | ||
PASS/FAIL指示 | 滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮,否則FAIL燈量 | ||
存儲(chǔ)調(diào)用 | 內(nèi)部 | 約100M非易失存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)定文件 | |
外置USB | 測(cè)試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件 | ||
鍵盤鎖定 | 可鎖定前面板按鍵,其他功能待擴(kuò)充 | ||
接口 | USB HOST | 2個(gè)USB HOST接口,可同時(shí)接鼠標(biāo)、鍵盤,U盤同時(shí)只能使用一個(gè) | |
USB DEVICE | 通用串行總線插座,小型B類(4個(gè)接觸位置);與USB TMC-USB488和USB2.0相符合,陰接頭用于連接外部控制器。 | ||
LAN | 10/100M以太網(wǎng),8引腳,兩種速度選擇 | ||
HANDLER | 用于Bin分檔信號(hào)輸出 | ||
RS232C | 標(biāo)準(zhǔn)9針,交叉 | ||
RS485 | 可以接收改制或外接RS232轉(zhuǎn)RS485模塊 | ||
開機(jī)預(yù)熱時(shí)間 | 60分鐘 | ||
輸入電壓 | 100-120VAC/198-242VAC可選擇,47-63Hz | ||
功耗 | 不小于130VA | ||
尺寸(WxHxD)mm | 430x177x405 | ||
重量 | 16kg |